(1) Obróbka przed PVD, w tym czyszczenie przedmiotów i obróbka wstępna.Konkretne metody czyszczenia obejmują czyszczenie detergentem, czyszczenie rozpuszczalnikami chemicznymi, czyszczenie ultradźwiękowe i czyszczenie bombardowaniem jonowym.
(2) Umieścić je w piecu, łącznie z czyszczeniem komory próżniowej i osprzętem oraz instalacją, uruchomieniem i podłączeniem elementów i osprzętu.
(3) Odkurzanie, zwykle pompowanie do 6,6 Pa lub więcej, należy wcześniej otworzyć przód pompy dyfuzyjnej, aby utrzymać pompę próżniową i ogrzać pompę dyfuzyjną.Po wystarczającym podgrzaniu zawór wysokiego ciśnienia jest otwierany i pompowany do podciśnienia o wartości 6 x 10-3 Pa za pomocą pompy dyfuzyjnej.
(4) Pieczenie, pieczenie elementów do pożądanej temperatury.
(5) Bombardowanie jonami, podciśnienie wynosi zwykle od 10 Pa do 10-1 Pa, napięcie bombardowania jonami to ujemne wysokie napięcie od 200 V do 1 KV, a czas ataku wynosi od 15 minut do 30 minut.
(6) Wstępne topienie, regulacja prądu w celu wstępnego stopienia materiału, regulacja prądu w celu wstępnego stopienia poszycia i odgazowanie przez 1 min ~ 2 min.Osadzanie przez odparowanie.Prąd parowania jest regulowany zgodnie z wymaganiami, aż upłynie żądany czas osadzania.Chłodzenie, przedmioty są chłodzone do określonej temperatury w komorze próżniowej.
(7) Po wyjęciu przedmiotów komora próżniowa jest zamykana, próżnia jest opróżniana do l × 10-1 Pa, a pompa dyfuzyjna jest schładzana do dopuszczalnej temperatury przed wyłączeniem pompy konserwacyjnej i wody chłodzącej.